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Ulvac-超高真空溅射系统

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更新时间:2020-05-28

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产品详情

Ulvac超高真空溅射系统

 

 

 

 

产品简介

超高真空溅射系统主要用于溅射沉积Pd、Ti、Zr、Ta、Al、Cu、W、 NiFe、FeMn,、CoFeS等各种纳米级单层或多层纳米厚度膜(通常低于50nm)。

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设备特点

1。可做超薄薄膜

2.可做多层薄膜(有五个靶源)

 

主要技术指标

1。极限真空:优于1×10-6 Pa.

2.膜厚: 几nm~100nm

 

溅射速率:2-4nm/min

薄膜均匀性与重复性:3英寸衬底均匀性优于±2 % ,重复性优于±2%

3。靶材尺寸:2英寸;5个靶位;1RF源,2DC源

 

4。基片尺寸:3英寸基片与破片

 

 

公司主要研发、制造和销售的检测仪器有:电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉反射炉气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶绝缘子行业测试设备、PCB三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等,可接定制仪器订单。

 


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型:
生产厂家
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商家概况

主营产品:
电压击穿试验仪,电荷量仪,漏电起痕试验仪,高阻计,体积表面电阻率测试仪,静电计,表,工频介损测试仪,耐电弧试验仪等
公司性质:
生产厂家

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